考慮到直線電機模組是是自動化機械設(shè)備，所以在實際使用中一定要嚴(yán)格要求，把控好準(zhǔn)確度的具體變化，并做好必要性的直線電機模組準(zhǔn)確度測量。

　　運行平行度：在裝置直線模組的平臺上安防標(biāo)準(zhǔn)尺，用實驗指示器在內(nèi)滑動，可以移動的區(qū)域內(nèi)做好測試，移動區(qū)域內(nèi)數(shù)值的大的差便是測量值。

　　定位精度：以直線電機模式的行程為基準(zhǔn)長度，用從基準(zhǔn)位置開端實際的移動的間隔與指令值相互間的最大誤差的絕對值來表示。

　　相同定位精度：對任何一點在一樣的方向做好7次相同定位，再測出當(dāng)中值位置，算出表頭數(shù)值最大的差值的二分之一。當(dāng)做測試的規(guī)則，在移動間隔的中心及大體上兩側(cè)的位置分別做好測試，將測試數(shù)值中的最大值當(dāng)做測量值，用帶有±的最大的差的二分之一表示。

　　游隙：對內(nèi)滑塊給予進(jìn)給，以滑塊剛剛開端移動時，實驗指示器的數(shù)值為基準(zhǔn)，這種模式開端，不依賴于進(jìn)給裝置，在內(nèi)滑塊移動的方向一樣的方向上（工作臺的進(jìn)給的方向）施加負(fù)荷，過后把測試開端時的基準(zhǔn)值與回去時位置相互間的差值，當(dāng)做測量值。測試在運動大部分的中心及大體上兩側(cè)的位置分別做好，把所取得的數(shù)值中的最大值當(dāng)做測量值。